在晶圆加工设备的工作过程中，通常先将待加工的晶圆放置于晶圆盒内，然后通过晶圆传输机构(lprloadportrobot)将晶圆传输至晶圆转运机构(mprmainprocessrobot)，晶圆转运机构将晶圆运输至各个晶圆处理单元进行相应的处理；处理完成的晶圆依次通过所述晶圆转运机构和所述晶圆传输机构运回至所述晶圆盒进行存储。需要指出的是，在将晶圆放置于所述晶圆盒的过程中，往往不能够将晶圆放置到位，比如，会有部分的晶圆凸出至晶圆盒的外部，从而会导致所述晶圆传输机构与所述晶圆盒在进行所述晶圆传输时不能够准确定位所述晶圆的位置，影响晶圆的后续转运精度，甚至是会对所述晶圆造成损坏。另一方面，传统晶圆加工设备的所述晶圆传输机构往往只能够承载一种尺寸的所述晶圆，在所述晶圆加工设备需要处理其他尺寸的所述晶圆时，需要更换所述承载组件，以适应新的尺寸的所述晶圆，操作过程繁琐，并且反复的拆卸容易导致所述晶圆加工设备损坏。
*免责声明：本文源于福洋超声波清洗机，点击原文阅读可以跳转原链接，转载仅是为了交流和学习，内容如有侵权，请联系本部删除！欢迎来撩
更多相关的自动化设备信息，可点击文末「阅读全文」查看设备或者添加下方电话咨询！
如果您有自动化生产设备，可以
联系电话：