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精密钢管热处理工艺：优质弹簧钢、工具钢、精密钢管丝、不锈钢制品、钛合金材料的真空退火，可通过真空处理进行光亮退火。退火温度越低，真空度越高。为了防止铬的蒸发，加速热传导，一般采用载气加热(保温)的方法，对于不锈钢和钛合金要注意用氩气代替氮气。
真空淬火真空淬火炉按冷却方式分为油淬和气淬，按工位号分为单室式和双室式。汕尾朝是一个周期运行炉。真空淬火炉是双室的，电加热元件在后室，油箱在前室的下部。工件加热保温后，移入前室，关闭中门，向前室充入惰性气体至约2.66%26次；lO~1.01%26次；1pa(~毫米汞柱)，并加注机油。油淬容易导致工件表面变质。由于表面活性高，在短时高温油膜的作用下会发生明显的薄层渗碳。此外，炭黑和油在表面上的粘附不利于简化热处理工艺。真空淬火技术的发展主要在于性能优良的单工位风冷淬火炉的开发。前述双室炉也可用于气体淬火(前室喷气冷却)，但双工位操作难以大批量装炉，在高温运动时也容易造成工件变形或改变工件朝向增加淬火变形。单工位风冷淬火炉加热保温后，在加热室内用射流冷却。空冷的冷却速度没有油冷快，也低于传统淬火方式中的熔盐等温、分级淬火。因此，提高喷雾冷却室的压力，增加流量，使用摩尔质量小于氮气和氩气的惰性气体氦气和氢气是真空淬火技术发展的主要趋势。70年代后期，氮气喷雾冷却压力从(1~2)%26倍；10Pa增加到(5~6)%26倍；10Pa，使冷却能力接近常压下的油冷。超高压气体淬火出现在80年代中期，有(10~20)%26次；氦的冷却能力为10Pa，与油淬相当或略高，已投入工业使用。90年代初，采用40%26次；10Pa氢，接近水淬的冷却能力，还处于初级阶段。工业发达国家已先进到高压(5~6)%26倍；10。Pa气体淬火为主，而中国气体淬火某些金属的蒸气压(理论值)与温度的关系仍在一般加压气体淬火(2%26倍；10Pa)型舞台。
结果真空渗碳是一条真空渗碳淬火工艺曲线。在真空中加热到渗碳温度并保持该温度以净化和活化表面后，引入稀薄的渗碳富气(见受控气氛热处理)，在约Pa(10T0rr)的负压下渗透，然后停止气体(减压)进行扩散。渗碳后精密钢管淬火采用一次淬火法，即先切断电源，通入氮气将工件冷却到临界点A，及以下，使内相发生变化，然后停气开泵，升温至and~~Accm之间。淬火方法可以是空气冷却或油冷。奥氏体化后，后者被移入前室，充入氮气至常压，并充入油。一般来说，真空渗碳的温度高于普通气体渗碳。如图所示，~℃的渗透和扩散可分为两个阶段。也可采用脉冲通气、停气，多级渗透扩张，效果更佳。由于温度较高，特别是表面洁净而活跃，真空渗碳层的形成速度比普通气体、液体和固体渗碳都要快。如果要求渗碳层1mm，℃只需5h，℃只需1h。
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