受国际形势的影响,国内很难再从国外进口氮化铝陶瓷加热盘,导致国内对氮化铝陶瓷加热盘的需求变得紧张起来。氮化铝陶瓷加热盘被应用于半导体行业中,常见的加热盘一般是8英寸的,国内对氮化铝陶瓷加热盘需求紧张,但是国内能加工氮化铝陶瓷加热盘的厂家却很少。导致这种情况的原因主要是由于氮化铝陶瓷加热盘的加工难度很高,那么为什么氮化铝陶瓷加热盘加工难呢?下面就由钧杰东家为您解答。
氮化铝陶瓷加热盘-钧杰陶瓷首先,我们需要了解一下氮化铝陶瓷是什么:
陶瓷行业的行家都知道,氮化铝陶瓷是一直具有高导热性能和电绝缘性能的先进陶瓷材料,被广泛应用于电子工业。
氮化铝晶体属于六方晶系,它以四面体为结构单元共价键化合物,乃纤锌矿型结构。同时它也是一种耐高温的陶瓷材料,它的单晶体导热率是氧化铝的5倍左右,并且可以在℃的环境中使用,具有良好的耐热冲击性能。
同时,氮化铝耐熔融状态下金属的侵蚀,几乎不受酸的稳定。因氮化铝表面暴露在湿空气中会反应生成极薄的氧化膜,人们利用此特性,将它用作铝、铜、银、铅等金属熔炼的坩埚和烧铸模具材料。也因为氮化铝陶瓷的金属化性能较好,可替代有毒性的氧化铍陶瓷在电子工业中广泛应用。
氮化铝的化学式为AlN,化学组成AI约占65.81%,N约占34.19%。它的粉体为一般是白色或灰白色,单晶状态下则是无色透明的,常压下的升华分解温度达到℃。
氮化铝陶瓷导热率在~W/(m.k)之间,而单晶体更可高达W/(m.k)以上。热导率高(>W/m·K),接近BeO和SiC;热膨胀系数(4.5×10-6℃)与Si(3.5~4×10-6℃)和GaAs(6×10-6℃)匹配;各种电性能(介电常数、介质损耗、体电阻率、介电强度)优良;机械性能好,抗折强度高于Al2O3和BeO陶瓷,可以常压烧结;可采用流延工艺制作。
氮化铝陶瓷作为一种硬脆材料,烧结后的氮化铝陶瓷加工起来十分的困难,它的各种性质优异于其他的陶瓷材料也意味着它的加工难度比其他陶瓷高,并且氮化铝陶瓷加工还有一个致命难点,它脆性大,十分容易白边。
在此情况下,用氮化铝制作陶瓷加热盘也变得分外艰难。8英寸的氮化铝陶瓷加热盘约莫是mm直径、19mm厚度的圆盘,制作加热盘的氮化铝的材料也就需要大于这个尺寸,在加工行业中,这个尺寸是非常大的,加工中间的空槽时十分容易损坏整块材料。
而这么大的氮化铝陶瓷材料光是毛坯加工就在2w人民币以上,在某一个细节上出现一丁点问题就会导致整块材料作废。所以在加工氮化铝加热盘时,风险也是很高的。一件氮化铝加热盘的价格在5w左右,做坏一件材料就会导致厂家血本无归,所以很多厂家也不愿意承担这份风险,这也就导致国内加工氮化铝加热盘的厂家十分少。