水导激光类似于激光在光纤中传播,由稳定的水柱作为激光传输的介质,空气作为低折射率包层,激光在水的表面发生全反射。激光通过水束传输至工件表面。
水导激光微细加工技术具有以下优点:
(1)由于水射流冷却,热影响区小、热残余应力小、微裂纹少。
(2)由于冲刷作用而产生很少的由于熔融产物堆积形成的毛刺,降低了加工表面的表面粗糙度。
(3)因为能量束呈圆柱状,所以不用考率对焦且加工距离长,可在工件材料中引导激光或将激光引导至工件的下方,可切割复杂表面材料和多层材料,切缝无锥度。传统激光呈圆锥形,切缝有锥度。。
(4)加工生成的产物大多随水束流入回收装置,对环境污染很小,而传统激光采用的辅助气体和加工产生的气体很多,对环境造成污染。
(5)改善了加工区域的激光能量分布,水束截面内能量呈均匀分布而不是高斯分布。
(6)水射流作用区域很小,相对气体辅助激光切割,对工件作用力很小。
(7)除了具有优异的切割加工性能,还具有较好的切盲槽和三维加工能力。
(8)传统激光加工时,加工火花会经常将保护镜片打坏,而水导激光微细加工不存在这种问题。
加工效果图
水导激光的典型应用
1交工喷墨打印机的喷头部分注墨缝
2切割Al2O3-TiC陶策切片
3加工各类显示屏
4大规模集成电路晶片切割
5医疗器件加工,血管内支架、手术刀片、针头、内窥镜部件等。